부족했던 정보를 채울 수 있었던 강의였습니다.
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반도체 소자중 MOSFET에 대한 원리와 동작특성에 대한 학습을 하였고
이 소자의해 제조된 DRAM, NAND의 동작원리와 특성에 대해 학습을 할 수 있었습니다.
공정에 들어가서는 여러 단위공정중 Deposition과 Metaliztion으로 알 수 있는 thin film process를 학습하였습니다.
thin film을 증착시에 중요한 plasma, 진공, 장비의 구성 같은 기초적인 내용부터 PVD에서 thermal과 DC, RF sputter에 대해 자세하게 학습 할 수 있었습니다.
CVD에서 LPCVD, PECVD의 장단점에 대해 학습한 후 ALD의 장단점을 익혔습니다.
증착법중 도금에 대한 내용을 처음 접하게 되었고 후막 증착에 사용된다고 알았습니다.
단위공정에대해 굉장히 자세하여 기존의 아는 내용을 정리하는데 많은 도움이 되었고 부족했던 정보를 채울 수 있었던 강의였습니다.
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