이 강의를, 듣고 나면 뭐가 달라질까요?
본 강의는 반도체 제조의 핵심 단위 공정인 식각(Etch) 공정에 대한 기초 이론부터 중급 수준의 설비·공정 기술까지 마스터하는 것을 목표로 합니다. 수강생은 반도체 소자의 미세화 및 집적화 원리를 바탕으로 식각 공정의 주요 지표(식각률, 선택비, 균일도 등)를 이해하고, 플라즈마 발생 원리와 물리적·화학적 반응 메커니즘을 체계적으로 습득할 수 있습니다. 이를 통해 실제 현업에서 발생하는 식각 이슈를 분석하고 최적의 공정 조건을 도출할 수 있는 전문 역량을 함양하게 됩니다.
산업의 이해(Context) : 반도체 미세화(Scaling) 전략과 이를 구현하기 위한 공정·장비·재료·설계의 상관관계를 파악합니다.
식각 기초(Fundamentals) : 식각 공정의 정의와 더불어 Wet Etch(등방성)와 Dry Etch(비등방성)의 특성 및 장단점을 비교 학습합니다.
플라즈마 기술(Plasma) : 건식 식각의 핵심인 플라즈마 생성 방식과 챔버 내의 물리적 환경이 식각 결과에 미치는 영향을 다룹니다.
반응 메커니즘(Mechanism) : 라디칼에 의한 화학적 식각과 이온 충돌에 의한 물리적 식각, 그리고 두 반응이 결합된 RIE(Reactive Ion Etch) 원리를 분석합니다.
공정 이슈 및 기술(Issue & Tech) : 식각 편차(Bias), 잔류물(Residue) 등 주요 결함 이슈와 TSV, Bosch Process 등 최신 식각 기술 트렌드를 학습합니다.