너무나 유익한 시간이었습니다. 모두들 한번씩 들으시면 좋을 것 같습니다.
석사 졸업 예정으로 공정 직무를 준비하면서, 이론으로만 알던 공정을 실제로 해보고 싶어 신청했습니다. 결론부터 말하면 3일 대비 얻어가는 게 많았습니다. 1일차는 이론, 2~3일차는 서울테크노파크 FAB에 들어가서 실제로 웨이퍼 한 장을 완성합니다. Si/SiO2 웨이퍼 위에 선폭 60㎛ Cu 인덕터를 만드는 과정인데, 리소–식각–증착–도금–다이싱까지 전공정 흐름을 한 사이클로 경험할 수 있게 짜여 있습니다. 가장 좋았던 건 리소그래피와 습식 공정은 정말 처음부터 끝까지 직접 한다는 점입니다. PR 코팅, 소프트베이크, 노광, 현상을 두 레이어(via hole, 인덕터 몰드) 모두 제 손으로 했고, 특히 컨택 얼라이너에서 마스크와 웨이퍼의 얼라인 키를 직접 맞추는 작업은 처음엔 X/Y만 만지다가 로테이션이 틀어진 걸 잡아내는 시행착오까지 겪어서 기억에 오래 남을 것 같습니다. ICP-RIE, 스퍼터, 전해도금, 다이싱처럼 학생이 직접 만질 수 없는 장비는 강사님이 가동하는 현장에서 장비 구조와 공정 변수를 설명해 주시는데, "압력을 안 건드리면 유량만 올려도 의미가 없다" 같은 실무형 설명이 많아서 단순 견학과는 달랐습니다. 의외의 수확은 불량이었습니다. 저희 조 웨이퍼에서 실제로 마스크 파손에 의한 결함, over-develop으로 인한 미도금이 발생했는데, 강사님이 이걸 그냥 넘기지 않고 "결과에서 원인으로 거슬러 올라가는" 추적 과정을 수강생들에게 직접 시키셨습니다. 매 단계 현미경으로 패턴을 확인하는 습관까지 포함해서, 공정 엔지니어가 실제로 뭘 하는 직무인지 감을 잡는 데 큰 도움이 됐습니다. 강사님들이 전부 현업 출신이라 양산 관점의 얘기(수율, 재현성, 장비사 이야기 등)를 계속 곁들여 주시는 것도 좋았습니다. 공정 직무로 서류·면접 준비하는 분들, 특히 저처럼 클린룸 경험은 있어도 반도체 표준 공정 흐름을 손으로 이어본 적 없는 분들께 추천합니다.
반도체 공정에 대한 기초지식이 하나도 없었음에도 불구하고 강의와 실습을 통해 많은 걸 배워갑니다. 저 같은 노베이스 학생들도 겁먹지 말고 수강하세요~
정말 알찬 강의에요. 특히 포토공정은 직접 해볼 수 있어서 너무 좋앗어요